PSVL27-030U紧凑型线性纳米定位台,采用平行运动学机械设计结构,其位移沿Z方向可提供30μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。
Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台,本系列产品包含X、XY、XZ、XYZ产品可供用户选择。
PSVL27-030U系列位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用,以提供所有自由度的定位。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
PSVL27-030U非常适用于小部件(例如反射镜和激光二极管)的纳米级定位,特别是在需要长期稳定性的应用中。
产品特性
—高柔性铰链确保高可靠性
—运动可达30μm(闭环)
—设备寿命长
—可提供X向位移台、XY、XZ和XYZ版本
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制安装转配孔
应用领域
—光纤定位,激光光学
—扫描系统、激光直写
—显微操作、3D打印
—光子聚合、光纤定位